产品中心
Product center
产品中心
Product center
LOFA平台
RCM
LOFA—远程机台监控系统

产品概览

  • 机台远程监控管理系统
  • 减员增效
    人力成本降低,生产效率提升,产品品质改善
  • 半导体制造领域

    长久发展必需

智能工具与丰富应用场景

功能特点

  • 01
    — 远程控制 —

    远程实时操作机台PC,进行日常设置/优化recipe,处理机台异常等动作

  • 02
    — 设备看板 —

    实时显示产线layout,设备状态,设备报警(通过颜色、声音提示)等信息:当前run货信息及未来lot到站信息等

  • 03
    — 生产报表 —

    生成或引入机台loading,瓶颈机台分布等报表供工程师分析决策

  • 04
    — 自动代操 —

    程序替代工程师自动执行如重量,机台false alarm消除等日常重复性动作

优势效果

  • 价值/效益
  • 软硬件特点
  • 智能化半导体工厂发展趋势
您的身份是?
如您是第一次访问我们的网站且不知该如何选择,请点击以下的选项,我们将引导您到达想要的界面。
您的身份是?
如您是第一次访问我们的网站且不知该如何选择,请点击以下的选项,我们将引导您到达想要的界面。