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智能数据引擎平台
DMS
缺陷管理系统

产品概览

  • DMS是一款缺陷改善管理系统
    帮助用户用更简洁、高效的方法对缺陷的平面分布和履历进行分析
  • 基于半导体工厂具有坐标的缺陷
    对半导体工厂缺陷数据进行处理和转换,生成清晰而直观的缺陷位置分布图
  • 较强的灵活性和可扩展性

    可与EDA,YMS等模块结合,实现多角度、多层次的缺陷数据分析

智能工具与丰富应用场景

功能特点

  • 01
    — 缺陷查询 —

    能够查询缺陷数据并对缺陷数据进行编辑,可自由选择要进行分析的缺陷数据进行不同分析

  • 02
    — Map展示 —

    将缺陷点根据坐标转换成缺陷Map图,可快速查看出每片产品的缺陷分布情况

  • 03
    — Map堆叠 —

    可将不同产品缺陷Map堆叠到一起,从而快速分析出缺陷高发位置以及缺陷聚集形态,并于设备结构坐标做对比

  • 04
    — 缺陷履历分析 —

    可通过同一产品在不同阶段的坐标进行对比,从而判断和追溯缺陷的产生原因,从而分析出缺陷产生的原因

优势效果

  • 可进行缺陷坐标匹配,快速分析缺陷的增减,追溯缺陷成因
  • 可对缺陷进行Map进行堆叠,快速分析缺陷分布规律
  • 可快速查看产品缺陷Map及产品缺陷统计信息
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