哥瑞利的高端量測解決方案近日成功應用於國產關鍵尺寸量測設備（CD SEM），並隨整機一同完成客戶交付。這標誌著哥瑞利從“產線自動化軟體”向“核心量測解決方案”的戰略延伸，也為國產半導體量測裝備“硬體+軟體+演算法”的全自主化邁出關鍵一步。
CD SEM，半導體製造的“納米尺規”
國產化需求迫切
CD SEM是半導體先進制程中不可或缺的核心量檢測裝備，被廣泛應用於光刻、刻蝕等關鍵工藝環節的納米級尺寸測量與控制。長期以來，高端CD SEM市場主要由海外廠商佔據，實現國產化突破對於提升我國半導體產業鏈自主可控能力具有重要戰略意義。
哥瑞利高端量測解決方案：三大核心能力
在此次聯合攻關中，哥瑞利為對標國際主流的CD SEM機台，量身定制了全自主的高端量測解決方案，核心貢獻體現在三個方面：
構建高可靠的設備控制與調度中樞
實現對真空系統、精密載物台、電子束等模組的精准協同控制，確保機台在納米級測量任務中的高重複性與高輸送量。
實現全自動化的量測流程與資料分析
支援複雜的測量配方創建與管理，可自動完成晶圓全流程測量，並內嵌高效的影像處理與邊緣檢測演算法，精准輸出關鍵尺寸資料。
縫對接晶圓廠智慧製造生態
搭載符合國際半導體標準（SECS/GEM）的通信介面，實現與工廠製造執行系統（MES）的資料互通與遠端控制，可無縫融入12英寸全自動化晶圓廠。
軟硬深度融合，共創自主生態
高端量測裝備的實現，離不開硬體與軟體的深度協同。哥瑞利提供的全棧量測解決方案，涵蓋從底層演算法、設備控制、影像處理到工廠系統互聯的完整能力棧，實現了高精密運動控制、自動化量測流程、圖像即時處理及晶圓廠系統的無縫對接。
面向未來，哥瑞利將持續深化高端量測領域的產業化協同，依託自身在半導體行業的客戶資源與服務網路，積極推動國產高端量測解決方案進入更多晶圓廠進行驗證與導入，共同構建國產高端量測裝備的自主生態。
