智能大數據引擎平台智能大數據引擎平台以智能算法與工程方法相結合為核心,彌補了人員經驗不足的影響,應用場景眾多,包括設備異常排查、質量異常原因排查、參數優化分析等。
核心系統模組類別包括:智能錯誤偵測分類(FDC)、良率管理系統(YMS/EDA)、虛擬量測和設備健康管理(VM&EHM)、大數據平台(Big Data Platform)、缺陷管理系統(DMS)、商業智能(BI)、先進製程管理系統(APC/R2R)。

智能大數據引擎平台智能大數據引擎平台以智能算法與工程方法相結合為核心,彌補了人員經驗不足的影響,應用場景眾多,包括設備異常排查、質量異常原因排查、參數優化分析等。
核心系統模組類別包括:智能錯誤偵測分類(FDC)、良率管理系統(YMS/EDA)、虛擬量測和設備健康管理(VM&EHM)、大數據平台(Big Data Platform)、缺陷管理系統(DMS)、商業智能(BI)、先進製程管理系統(APC/R2R)。
良率管理系統(YMS)
智能錯誤偵測分類系統(FDC)
虛擬量測和設備健康管理(VM&EHM)
大數據平台(Big Data Platform)
缺陷管理系統(DMS)
商業智能(BI)
先進製程管理系統(APC/R2R)