近日，哥瑞利自主研發的 LOFA 黑燈工廠助理（Light Off Factory Assistant）在國內中部某 12 英寸頭部晶圓廠完成先進制程檢測環節的智慧化升級並順利投產。項目以 AI 與 RPA（Robotic Process Automation）深度融合，一舉打通 Review SEM、CD SEM 與光學顯微鏡（Nikon OM） 等關鍵檢測設備的全流程智慧代操——在顯著提升設備運行效率的同時，把工程師從高頻、重複的現場操作中解放出來，為 12 寸先進制程 FAB 的“無人化”提供了可複製的範本。
Review SEM
缺陷複查，一鍵閉環
針對晶圓圖形複雜、缺陷類型多樣、設備對準能力有限易致流程中斷的痛點，哥瑞利 LOFA以自研 RPA 代操+AI技術，將 GA 智慧對準（Scribe Line 特徵識別、自動沿切割道重對準）、缺陷自動定位（複測座標解析與 SEM 視野精准移動）、Auto EDX 智慧分析（多 Recipe 成分自動採集與處理）串成一條無人閉環，大幅降低因對準異常與重複操作導致的工程師介入頻次。
CD SEM
特徵定位演算法，突破先進制程量測瓶頸
面向先進節點對 CD 量測資料完整性的嚴苛要求，LOFA 將 RPA 自動化與 AI 視覺深度融合，實現 Recipe 調用、機台校準、量測異常處理、資料確認的全鏈路自動運行。其核心突破在於拋棄傳統圖片匹配、改用自研“基於特徵值的中心定位演算法”：通過提煉晶圓圖形的關鍵結構特徵，規避圖形變化與雜訊干擾，定位成功率較傳統方案提升約 90%。目前該方案在頭部客戶穩定運行準確率 95%+，成為 LOFA 面向 12 寸先進 FAB 的核心產品之一。
✦ Nikon OM 智能化改造
從Manual“光學顯微”躍遷為Full Auto“AI 智慧分析型檢測”——本次升級的重頭戲
傳統光學顯微檢測在宏觀缺陷環節長期受制於三大瓶頸：檢測效率受限、多角度資訊不足、缺陷定位高度依賴工程師經驗。哥瑞利研發團隊對 Nikon OM 開展硬體與演算法的協同重構，讓這台“看得見”的設備真正做到“看得懂、判得准、傳得走”。
自動化升級高速線掃成像硬體解決方案
自研高速線掃成像模組，在不額外佔用檢測時間的前提下，同步輸出多角度宏觀圖像、晶圓完整表面資訊與豐富的缺陷紋理特徵——一次掃描，既守住產能（WPH），又把宏觀缺陷細節一網打盡，為後續 AI 判定提供高品質、多維度的資料底座。
智慧化賦能 · LOFA四大自研AI引擎
Golden Image 智慧比對 + AI 自動缺陷分類（ADC）：缺陷快速發現、精准定位、自動歸類，綜合分類準確率超 95%+，把“人眼掃圖”升級為“演算法讀圖”。
照片超解析度演算法：針對偶發的照片模糊，自研超分重建有效還原細節，杜絕因成像品質波動導致的誤判與漏判。
Smart Sampling 智能採樣：以自我調整採樣策略化解“缺陷摸底充分性”與“產能（WPH）”之間的長期矛盾，讓抽檢既全面又高效。
快速人工複判 + 自動上傳 DN：在全自動流程中保留一鍵人工介入通道，兼顧效率與可控；並打通自動上傳 DN 這一智慧化鏈條中最難啃的“最後一公里”，實現從檢測、判定到資料回傳的真正端到端閉環。
一句話價值：軟硬協同之下，Nikon OM 從單純的Manual “光學顯微”設備，躍遷為Full Auto具備自動成像、智慧判定、資料自動回傳能力的“LOFA AI 智慧分析型檢測”平臺，成為 OM 宏觀檢測無人化的標杆。
構建新一代 FAB 智慧製造體系
此次項目的成功落地，是哥瑞利 LOFA 在 12 寸前道智慧生產領域的又一里程碑。通過 RPA 智慧設備代操、AI 視覺演算法與設備智慧化改造三線並進，LOFA 正説明晶圓製造企業構建“設備自動化 + 資料智慧化 + 工程無人化”的新一代 FAB 製造體系。
未來，哥瑞利將持續圍繞半導體製造核心場景，深化AI應用與自動化技術融合，為全球晶圓製造企業提供更加高效、智慧、可靠的智慧製造解決方案。
