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生产运营平台
PRMS
光刻胶管理系统

产品概览

  • 光阻频繁更换
    产能需求日增、机台能力限制、车间控间有限，往往会搭配许多的机台限制
  • 依赖人工易疏漏
    以往光阻更换系统的核对方式，不论是表单记录或是barcode比对，操作的核心还是依靠人工
  • PRMS 系统

    通过管控机制与设计，可以有效避免光刻胶过期报废，或是人员换装光刻胶的误动作风险

智能工具与丰富应用场景

功能特点

  • 01
    — identical HW / SW —

    自主开发系统，具有高度客制能力

  • 02
    — big data analysis —

    可运用大数据分析管理，结合inline defect分析系统快速找到真因

  • 03
    —MO prevention —

    使用RFID定时定位，可以有效防止人员操作失误造成的风险

  • 04
    — cost reduction —

    通过缜密系统，可以有效运用，不会有过期或疏漏造成的impact

优势效果

  • 虚拟量测
  • 设备健康度监控
  • 图像缺陷诊断

解决方案

半导体封测智能制造方案
半导体封测智能制造方案（国内前10封测大厂案例）
智能远程集控中心
节约人力30%以上 人员效率提升80% 设备效率提升3%~5%

进一步了解

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