产品中心
Product center
产品中心
Product center
智能工具与丰富应用场景
功能特点
- 01—降低pilot wafer用量—
借由准确feedback，可以在最短时间内使输出值接近目标值，可以大幅减少 pilot wafer 的使用
- 02— 改善产品Cpk —
APC可以使产品有效控制在目标值附近，保证产品质量
- 03— 减少OOS发生率 —
将可能影响因子完整考量到算法中，能有效降低outliner的发生
- 04— 减少MO发生率 —
经由完整系统运作，可以大幅减少需要人员操作的机会，并加上系统中对于补偿值的卡控从而减少MO的发生
优势效果
-
虚拟量测
-
设备健康度监控
-
图像缺陷诊断
页
面
引
导
