解决方案
The solution
解决方案
The solution
半导体设备远程智能代操方案
目前半导体工厂减员增效,提高产能最有效,最合理,系统间配合度最高之解决方案

综合机台远程操作,智能代操,图像识别,缺陷分析,进阶工艺控制,大数据分析系统的优势,全面覆盖半导体制造领域多个应用场景

  • 减员增效 ●

    本方案实施后,可显著提高人员工作效率,提高设备产能,减少质量问题 ●

  • 智能 ●

    基于大数据,人工智能和深度学习技术,在多个场景可以实现完全替代人●

  • ● 稳定

    ● 程序替代人进行操作

    ● 稳定性及正确率可以达到100%

  • ● 强大

    ● 实时识别动态画面及复杂操作场景并作出正确判断。

设备远程管理

完全和在机台近端一样的操作体验

机台常规操作自动化
7*24实时监控机台画面

根据特定事件进行对应的操作,完全解放人力,稳定高效,例如“一键PM”,消除false alarm,自动重量等

设备运行参数自动收集与调整

自动收集目前基于人力经验的设备参数调整,进一步由iDEP分析出背后关键因子,给出调整方案,由RPA自动执行,例如IMP机台调整束流

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