EDA
工程数据分析系统 DMS
缺陷管理系统 ADC
缺陷图像自动检测 APC/R2R
先进制程管理系统 PMS
预防保养系统 YMS
良率管理系统 FDC
智能错误侦测分类

PCC
LOFA—远程控制中心系统 RCM
LOFA—远程机台监控系统 RPA
LOFA—机器人流程自动化

BI
商业智能平台 MES
生产管理系统 MCS
智能搬送系统 WMS
仓储管理系统 FMC(EMS/RTM)
工厂监控中心 PRMS
光刻胶管理系统 APS/RTD
高级计划排产系统 RMS
Recipe管理系统 QMS
质量管理系统

DW
数据仓库系统 EAP
设备自动化系统 SCADA
DC数采平台 BC/LC
生产管理信息化管理系统

EDMS
项目驱动型监视系统 设备软件
设备软件平台 iEQ
设备通讯转换模块