半导体12寸行业主要痛点与挑战
工艺精细(最高端的制程),流程复杂(流程长度1000-3000步,返工和实验批控制逻辑复杂),设备自动化程度高,对系统依赖度很高。
12寸晶圆厂为了避免人工搬运影响良率,一般都会配备天车搬运系统,对全自动化搬运系统的要求很高对工步和在制品的管控需要更加精细,比如在制品追溯、QTime管控等从Lot级别深入到Wafer级别,对系统的性能要求和稳定性要求很高。
全自动化搬运和实时派工需要协调多种操作模式的设备,包括Inline光刻机设备、Batch作业设备、Sorter传片设备、多腔体设备等,同时还要自动处理各种异常情况,需打通APS、RTD、MES、MCS、EAPAPC、FDC、YMS等多个CIM系统来实现黑灯工厂,复杂度极高。
随着半导体科技与贸易对抗趋势的加剧,外国厂商对国内客户的支持度受到影响,从设备到系统都迫切需要国产替代。