功能介绍-二次开发
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配置工具
配置文件
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扩展库
.NET
调度
GUI组件
配方检查
平台本身可根据用户的特定需求，进行扩展
分布式结构的集束设备控制平台软件
组件化、可视化开发
符合半导体设备行业标准的软件框架
高度可定制化
Win7/8/10、Linux等操作系统,支持跨平台
配置工具
配置文件
扩展库
.NET
调度
GUI组件
配方检查
平台本身可根据用户的特定需求，进行扩展
系统内置通用调度引擎
Material-Driven,根据wafer等物料的实时状态,产生调度指令
遵循SEMI标准定义的模型,便于集成FA
Process/Control Job
可按单元配置优先级
支持外部模块(比如光刻机)
仿真计算模式
可定制化
优先策略、路径调整
特定任务
Clean、Dummy、Mapping等
系统内置通用调度引擎
多节点分布式IO服务
IO和Memory类型变量
持久化存储
表达式计算功能
联锁(Interlock)功能
输出检查(OUT_CHECK)
输出联动(OUT_ACTION)
输入检查(IN_CHECK)
IO配置工具
支持浏览、编辑、监控等
驱动库和枚举值配置管理
仿真模式
CTF
磐石平台
IEQ
设备通讯转换模块
磐石平台
为半导体设备专门设计的国产设备软件平台，支持跨平台部署，分布式部署，模块化设计，插件化，支持GUI自由组态创建，方便扩展，支持定制，辅助设备厂商快速推出设备
CTF （Cluster Tool Framework) 磐石平台
FA (Fab Automation) 磐石平台FA模块，对接Fab自动化系统（EAP系统或者MES系统
关键设备技术受制于外，需加速国产化进程以确保供应链安全与稳定
竞争激烈，国产设备厂商需提升技术实力与影响力
市场对设备的需求日益多样化，要求快速响应与定制化服务
高额研发成本与专业人才不足限制了技术突破与创新能力
加速设备产品上市提供设备软件配套，缩短设备厂商GTM时间，快速响应市场
提升客户体验软件稳定，开放源代码支持定制开发，满足个性化需求，软件售后有保障
自主可控软件国产化，减少外部依赖，多家12寸Fab厂成熟案例验证，确保系统可控与安全
半导体
通过iEQ将PLC或板卡数据转换成标准SECS/GEM,并与上位系统建立通信使上位系统能够做到对设备的信息交流、数据采集、流程控制等响应的功能需求。
即插即用,配置简单
安装部署简单,即插即用;通过WebClient端进行配置，功能强大、配置灵活,实时生效
功能强大、系统稳定、性能高效
全面兼容SECS/GEM标准功能接口,7x24小时不间断稳定运行,数据传输性能高
接口丰富,兼容性好
提供多种连接方式,包含RJ45、USB、RS232、RS485、RS422等工业接口
支持主流PLC,多种通讯协议
支持多家主流PLC厂商,包括三菱、欧姆龙、西门子、基恩士等。涵盖了MC协议、Fins协议、S7协议、Modbus协议、TCP/IP协议、串口协议等常用设备通讯协议
拓展性好,方便定制
预留丰富接口,支持Restful、WebService、Socket、Datebase等交互方式
深度集成,设备标准化
与设备深度集成,提供标准的SECS/GEM接口,可直接与EAP/MES等上位系统进行无缝集成,实现信息传输、数据收集、流程控制等功能
半导体
PCB
