智能大数据引擎平台智能大数据引擎平台以智能算法与工程方法相结合为核心,弥补了人员经验不足的影响,应用场景众多,包括设备异常排查、质量异常原因排查、参数优化分析等。
核心系统模组类别包括:智能错误侦测分类(FDC)、良率管理系统(YMS/EDA)、虚拟量测和设备健康管理(VM&EHM)、大数据平台(Big Data Platform)、缺陷管理系统(DMS)、商业智能(BI)、先进制程管理系统(APC/R2R)。

智能大数据引擎平台智能大数据引擎平台以智能算法与工程方法相结合为核心,弥补了人员经验不足的影响,应用场景众多,包括设备异常排查、质量异常原因排查、参数优化分析等。
核心系统模组类别包括:智能错误侦测分类(FDC)、良率管理系统(YMS/EDA)、虚拟量测和设备健康管理(VM&EHM)、大数据平台(Big Data Platform)、缺陷管理系统(DMS)、商业智能(BI)、先进制程管理系统(APC/R2R)。
良率管理系统(YMS)
智能错误侦测分类系统(FDC)
虚拟量测和设备健康管理(VM&EHM)
大数据平台(Big Data Platform)
缺陷管理系统(DMS)
商业智能(BI)
先进制程管理系统(APC/R2R)