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智能大数据引擎平台
智能大数据引擎平台

智能大数据引擎平台以智能算法与工程方法相结合为核心,弥补了人员经验不足的影响,应用场景众多,包括设备异常排查、质量异常原因排查、参数优化分析等。

核心系统模组类别包括:智能错误侦测分类(FDC)、良率管理系统(YMS/EDA)、虚拟量测和设备健康管理(VM&EHM)、大数据平台(Big Data Platform)、缺陷管理系统(DMS)、商业智能(BI)、先进制程管理系统(APC/R2R)。

  • 良率管理系统(YMS)
    利用人工智能驱动的大数据分析和集成MESwellTM,实时监控多站点运营的良率指标、缺陷模式和工艺偏差。
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    工程分析与量产良率割裂,工程结论难以持续指导量产改善。
    痛点2
    良率异常分析依赖人工经验与Excel,定位慢、结论不可复制。
    痛点3
    缺陷、制程、设备、材料等影响因子复杂,缺乏系统化识别手段。
    产品赋能价值
    价值1
    打通工程分析与量产良率数据,实现工程结论在量产阶段的持续验证与应用,形成“工程 → 量产 → 改善”闭环。
    价值2
    以标准化分析流程与模型替代个人经验,显著缩短良率异常定位时间,提高分析结果一致性与可复用性。
    价值3
    通过多变量分析与因子筛选模型,精准识别影响良率的关键因子,为改善措施提供明确数据依据。
    产品优势

    工程与制造一体化

    工程与制造一体化,将 EDA 的工程分析能力与 YMS 的量产良率管理深度融合,避免分析结果停留在工程阶段。

    工程与制造一体化

    分析结果可解释、可追溯

    分析结果可解释、可追溯,支持 PLS / RF 等算法,输出明确影响因子(如 VIP 排序),结论可回溯、可复核。

    分析结果可解释、可追溯

    平台化、可扩展

    平台化、可扩展,可与 ADC、VM、EHM 等模块联动,持续扩展为完整的质量与制程优化体系。

    工程与制造一体化
  • 智能错误侦测分类系统(FDC)
    实时侦测、分类生产过程中的异常,并进行根因分析,提升产品一致性与生产稳定性。
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    人工点检设备参数,重复劳动、负担重、时效低,数据记录缺失不真实。
    痛点2
    设备历史参数分析依赖 offline 工具及分析人员水平,分析效率低,分析质量参差不齐。
    产品赋能价值
    价值1
    系统 24 小时自动采集和监控设备参数状态,异常自动报警推送至对应的负责人。
    价值2
    通过 AI 模型输出变量重要性排序,明确导致异常的关键参数,实现从 “告警” 到 “诊断” 的跃迁。
    产品优势

    引入多因子分析算法

    引入多因子分析算法,快速、准确实现根因分析和识别。

    工程与制造一体化

    大数据系统架构

    大数据系统架构,支持百万级参数及秒并行处理。

    分析结果可解释、可追溯
  • 虚拟量测和设备健康管理(VM&EHM)
    VM系统为AI驱动的软件解决方案,旨在通过将设备及工艺参数与统计及机器学习模型相结合,预测产品特性(如薄膜厚度、阻抗、线宽)。
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    关键制程参数无法实时量测,依赖抽检与人工经验,反馈滞后。
    痛点2
    设备异常多为事后发现,非计划停机频繁,影响良率与产能。
    痛点3
    设备状态数据分散于 FDC / MES / EAP,无法形成健康评估闭环。
    产品赋能价值
    价值1
    以 VM 模型替代实体量测,实现关键指标“准实时预测”,提前修正制程偏移。
    价值2
    通过 EHM 健康度与劣化趋势预测,将设备异常由“事后处理”转为“事前预警”。
    价值3
    整合多源设备与制程数据,形成统一的设备健康评分与决策依据。
    产品优势

    模型可落地

    支持 RF/XGBoost/PLS 等工业成熟算法,模型可解释、可验证。

    工程与制造一体化

    系统可集成

    原生对接 MES/FDC/EAP/YMS,不改变现有产线架构。

    分析结果可解释、可追溯

    运维可持续

    支持模型自动重训与版本管理,长期运行不依赖专家人工维护。

    工程与制造一体化
  • 大数据平台(Big Data Platform)
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    生产数据量巨大,传统方式在抽取、存储、治理等环节存在瓶颈,耗时耗力,成本高昂。
    痛点2
    数据在各系统中独立存在,难以打通联动并进行综合分析,无法有效发挥数据价值。
    痛点3
    数据来源多样、格式不一、接口复杂,缺乏标准化手段,导致数据整合入门槛高、周期长。
    产品赋能价值
    价值1
    实现海量数据的稳定、低成本存储与高效管理,为数据资产化奠定坚实基础。
    价值2
    打通各业务系统数据,形成企业级单一可信数据源,释放数据关联价值。
    价值3
    通过配置化、组件化的方式,快速对接各类异构数据源,实现数据的快速整理与就绪。
    产品优势

    高可靠去中心化架构

    采用去中心化设计,支持高可用(HA)功能,有效避免单点故障,支持不停机扩容,确保业务连续性。

    工程与制造一体化

    高扩展性与生态兼容

    采用主流技术架构,处理能力随集群规模线性增长,并能无缝对接Spark、Flink、Kettle、DataX等主流大数据技术组件。

    分析结果可解释、可追溯

    极简低代码/零代码操作

    提供可视化操作,用户通过拖拽任务即可构建复杂的工作流,支持SQL、Python、Shell等多种任务类型,业务人员也能快速上手。

    工程与制造一体化
  • 缺陷管理系统(DMS)
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    AOI、量测、EL 等设备持续产生大量缺陷文件与检测数据,缺乏统一接入与实时处理机制,异常信息往往在事后分析阶段才被发现。
    痛点2
    当前缺陷分析多用于事后追溯,异常批次在发现前已继续后流,容易造成大批不良扩散,增加返修与报废风险。
    痛点3
    缺陷文件到达后,缺乏自动计算关键过程指标与在线告警能力,异常主要依赖人工发现,无法形成“检测 → 计算 → 告警 → 拦截”的闭环防线。
    产品赋能价值
    价值1
    统一接入各类缺陷文件(如Klarf),在文件到达时实时解析与建模,形成Lot/Wafer/Die多层级缺陷数据资产,为在线分析与即时拦截奠定基础。
    价值2
    缺陷文件到达时实时计算关键异常指标,对超标批次即时告警并联动MES执行拦截或暂停放行,有效阻断异常产品后流,降低不良扩散风险。
    价值3
    基于历史缺陷分布与良率数据,通过AI模型预测异常趋势,对高风险批次提前预警并推荐优先分析对象,提升异常防控的前瞻性与命中率。
    产品优势

    集“缺陷分析 + 在线计算 + 实时告警 + MES 拦截”于一体的质量防线体系。

    集“缺陷分析+实时计算+在线告警+MES拦截”于一体,发现缺陷及时响应,真正实现生产过程的实时质量防护。

    工程与制造一体化

    过程指标与缺陷指标统一建模,异常判定更精准。

    将缺陷特征与制程阶段、设备状态、工艺参数统一建模,支持多条件组合判定,有效减少误报漏报,提升拦截有效性。

    分析结果可解释、可追溯

    可叠加 AI 模型,逐步实现“预测型质量控制”。

    在实时拦截基础上,可引入异常趋势预测与优先处置策略,支撑从“事后分析”向“过程防控+预测预警”的持续进化。

    工程与制造一体化
  • 商业智能(BI)
    用于收集、分析及呈现数据的技术、策略与方法组合,帮助企业做出更优化的数据驱动决策。
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    数据孤岛严重,跨系统数据难以整合。
    痛点2
    使用门槛高,依赖IT人员,业务人员难自助分析。
    痛点3
    响应速度慢,数据延迟严重,无法支撑实时决策。
    产品赋能价值
    价值1
    通过统一数据中台或数据湖架构,整合多源异构系统数据,实现跨部门、跨系统的数据打通与共享。
    价值2
    降低使用门槛、拖拽式可视化等技术,让业务人员无需技术背景也能自助分析。
    价值3
    利用内存计算、流处理技术和云原生架构,支持实时数据分析与秒级响应,满足敏捷决策需求。
    产品优势

    极简操作

    极简操作,业务人员也能秒上手:采用全拖拽式交互,无需代码基础,业务人员可自助完成报表搭建与数据分析,真正实现“人人都是分析师”。

    工程与制造一体化

    深度融合、实时互联

    深度融合、实时互联,打破数据孤岛:支持多源数据一键接入,与主流MES、EAP等系统无缝对接,结合实时数据同步能力,确保决策数据全面、准确、秒级响应。

    分析结果可解释、可追溯
  • 先进制程管理系统(APC/R2R)
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    设备老化和环境变化引起的工艺偏差,工艺参数漂移导致良率损失。
    痛点2
    依赖人工经验调整,响应速度慢且工艺一致性差。
    痛点3
    跨设备、跨工序数据孤岛问题突出,海量生产数据缺乏智能分析,价值未充分挖掘。
    产品赋能价值
    价值1
    实时监控与自动补偿,实现“自愈式”生产。
    价值2
    模型精准预测工艺结果,提前优化参数。
    价值3
    建立工艺-设备-量测数据联动分析平台。
    产品优势

    模块化设计

    模块化设计,可按需部署,逐步扩展。

    工程与制造一体化

    提供标准化API

    提供标准化API,支持客户二次开发。

    分析结果可解释、可追溯

    兼容多种半导体制造工艺

    兼容多种半导体制造工艺。

    工程与制造一体化
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