iEQ-上海哥瑞利软件股份有限公司

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数字化设备平台
数字化设备平台

数字化设备平台采用组件化、脚本化及模块化架构,赋能先进设备制造商开发高性能自动控制系统,涵盖设备软件套件及仿真解决方案。

核心解决方案包括:集群工具架构(CTF)、工艺设计与仿真(PDS)、设备通讯转换模块(iEQ)。

  • 集群工具架构(CTF)
    CTF是哥瑞利专有的国产半导体设备软件平台,为设备制造商提供高效、灵活且可扩展的软件解决方案。
    平台功能
    软件特点
    平台功能
    ·GUI-人机交互界面、组态定制
    ·CTC-调度,支持定制
    ·PM-工艺单元模块
    ·FA-工厂自动化(GEM/GEM300)
    ·CM-晶舟模块单元
    ·RCP-配方管理
    ·LPRC-远程过程调用
    ·HIST-历史记录
    ·ALARM-报警处理
    ·LOG-日志记录
    软件特点
    特点1
    支持Windows 及Linux双平台部署。Windows 平台支持快速迭代及多功能开发,而Linux平台则具备更高安全性,符合开源软件政策,并满足不同的客户要求。
    特点2
    采用多节点部署有效分配性能负载,无缝处理大数据场景,并支持多控制系统协同,具备卓越的可扩展性。
    特点3
    功能组件设计为独立模块,支持敏捷开发,并具备标准功能,可按照客户要求进行定制。
    特点4
    可对多种驱动及单元模块进行动态调度,适配不同半导体制造商的设备型号,并可集成客户专属功能以提供定制化解决方案。
    产品优势

    增强兼容性

    CTF的软件通讯总线架支持设备传感器即插即用,大幅降低系统复杂度。

    工程与制造一体化

    应用生态

    全面兼容Linux 及 Windows 跨平台应用,拓宽了客户覆盖范围。

    分析结果可解释、可追溯

    终端验证实效

    已在多家12寸晶圆制造厂成功部署并稳定运行,积累大量实例,充分验证其可靠性及实用性。

    工程与制造一体化
  • 设备通讯转换模块(iEQ)
    iEQ 是自主研发的核心工业通讯解决方案,专门为泛半导体行业企业提供高效稳定的设备通讯及数据交换服务。
    行业痛点
    产品赋能价值
    行业痛点
    痛点1
    对PLC与上位系统的通讯的研发难度大,人力、时间成本高。
    痛点2
    采用第三方硬件成本高,适配兼容性差,无法满足市场需求。
    痛点3
    没有统一标准,缺少自动化行业经验。
    产品赋能价值
    价值1
    支持多家主流PLC厂商涵盖主流通讯协议。
    价值2
    提供标准 SECS、GEM 接口与上位系统无缝集成。
    价值3
    不间断稳定运行,数据传输可靠性高。
    产品优势

    安装部署简单,即插即用;通过WebClient端进行配置,功能强大、配置灵活,实时生效。

    工程与制造一体化

    与设备深度集成,提供标准的SECS/GEM接口,可直接与EAP、MES等上位系统进行无缝集成,实现信息传输、数据收集、流程控制等功能

    分析结果可解释、可追溯

    全面兼容SECS、GEM标准功能接口,7x24小时不间断稳定运行,数据传输性能高。

    工程与制造一体化
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