哥瑞利自主研发的LOFA（Light Off Factory Assistant黑灯工厂助理）已成功应用于OM（Optical Microscope，光学显微镜）设备中，在半导体12寸制造领域取得的重要成果。LOFA通过其高度自动化的解决方案，专注于将FAB工厂OQA（Outgoing Quality Assurance，出厂质量保证）部门的全部工作流程自动化，为整个FAB厂的无人化进程补上了最重要的一块拼图。
OM机台
OM机台在大尺寸晶圆缺陷检测中扮演着至关关键角色。然而，OM机台作为自动化的一大难点，需要靠操作员手动调整晶圆的位置，同时紧盯晶圆表面判断有无缺陷并进行人工分类，长时间工作后易导致效率下降和漏检。此外操作员的熟练程度会直接影响机台的WPH，每逢休息或节假日会还导致机台闲置和人员短缺，进而影响产能。
在解决这些行业痛点的道路上，很多厂商都进行过尝试，但无一例外都失败了，原因在于传统纯软件的解决方案无法替代人眼去采集wafer的信息，采集过程中如何覆盖wafer的晶面、晶背、晶边也是个难题，此外如何精准对采集到的defect进行分类，也需要很强的defect分类经验。
针对难点-工程师是如何进行拆解
1. 代替操作员的眼睛 哥瑞利研发工程师经过多次调研设计，研究出了针对不同机台的定制硬件扩充方案。在对机台没有侵入的前提下，在三个不同的位置加装高精度光源和相机，全方位检测晶圆。
2. 代替操作员的动作 在机台端加装PLC控制，实现对机台旋钮、摇杆等物理操作工具的虚拟替代。再接入LOFA-Bots，可是实现由LOFA-Bots自动对焦、自动旋转Wafer等操作。
3. 代替操作员的大脑 LOFA-AI模块利用先进的图像识别技术，通过深度学习，以及在半导体行业积累的Defect分类经验，可以实现OM Defect的自动精准分类。分类成功率可达百分之95%以上。
仅仅做到这些还不够，哥瑞利又发现传统的FAB都是将OM的结果手动上传DN（Defect Notice系统），存在效率低，易出错的问题。于是哥瑞利结合自身一站式CIM供应商的平台整合优势，打通整个流程，做到Auto上传DN，Auto Ink，甚至Auto 生成出货报告。成功实现OQA的流程全部自动化。
最终，LOFA 在OM的场景中实现了软硬件和多系统平台的完美结合。
LOFA Bots-实现的具体功能
自动上下货
Recipe自动选择
自动宏观检查
自动气枪除尘
自动微观检查
自动缺陷分类
缺陷异常的自动处理和纪录
缺陷数据自动上传DN系统及出货系统
收益成效实例-某半导体12寸前道客户实操反馈
LOFA成功上线后，OM机台能够自动完成晶圆缺陷的识别与评估，并支持远程监控与控制。
操作界面简洁直观，管理人员能够随时随地实时轻松掌握生产状况并进行相应的操作。
LOFA上线后，减少MA人员，进一步提升生产效率和成本效益。
哥瑞利LOFA在12寸工厂OM场景的成功应用，是今年在黑灯工厂智慧生产和AI自动化领域的一大探索，已上线多台的案例也充分展示了哥瑞利在半导体制造自动化领域的领先地位和技术与前沿科技的快速结合。实力同时我们也因应产业端的迫切需求，推出除了OM、WAT 外的其他机台应用，譬如CP、CD-SEM、Review-SEM、Die Saw等，等在未来也会逐步推广至更多的应用场景。哥瑞利将持继续致力于推动半导体制造行业的智能化和无人化进程，为先进制造厂商全球客户提供更加高效、可靠的解决方案和技术支持。
