哥瑞利的高端量测解决方案近日成功应用于国产关键尺寸量测设备（CD SEM），并随整机一同完成客户交付。这标志着哥瑞利从“产线自动化软件”向“核心量测解决方案”的战略延伸，也为国产半导体量测装备“硬件+软件+算法”的全自主化迈出关键一步。
CD SEM，半导体制造的“纳米标尺”
国产化需求迫切
CD SEM是半导体先进制程中不可或缺的核心量检测装备，被广泛应用于光刻、刻蚀等关键工艺环节的纳米级尺寸测量与控制。长期以来，高端CD SEM市场主要由海外厂商占据，实现国产化突破对于提升我国半导体产业链自主可控能力具有重要战略意义。
哥瑞利高端量测解决方案：三大核心能力
在此次联合攻关中，哥瑞利为对标国际主流的CD SEM机台，量身定制了全自主的高端量测解决方案，核心贡献体现在三个方面：
构建高可靠的设备控制与调度中枢
实现对真空系统、精密载物台、电子束等模块的精准协同控制，确保机台在纳米级测量任务中的高重复性与高吞吐量。
实现全自动化的量测流程与数据分析
支持复杂的测量配方创建与管理，可自动完成晶圆全流程测量，并内嵌高效的图像处理与边缘检测算法，精准输出关键尺寸数据。
无缝对接晶圆厂智能制造生态
搭载符合国际半导体标准（SECS/GEM）的通信接口，实现与工厂制造执行系统（MES）的数据互通与远程控制，可无缝融入12英寸全自动化晶圆厂。
软硬深度融合，共创自主生态
高端量测装备的实现，离不开硬件与软件的深度协同。哥瑞利提供的全栈量测解决方案，涵盖从底层算法、设备控制、图像处理到工厂系统互联的完整能力栈，实现了高精密运动控制、自动化量测流程、图像实时处理及晶圆厂系统的无缝对接。
面向未来，哥瑞利将持续深化高端量测领域的产业化协同，依托自身在半导体行业的客户资源与服务网络，积极推动国产高端量测解决方案进入更多晶圆厂进行验证与导入，共同构建国产高端量测装备的自主生态。
