近日，哥瑞利自主研发的 LOFA 黑灯工厂助理（Light Off Factory Assistant）在国内中部某 12 英寸头部晶圆厂完成先进制程检测环节的智能化升级并顺利投产。项目以 AI 与 RPA（Robotic Process Automation）深度融合，一举打通 Review SEM、CD SEM 与光学显微镜（Nikon OM） 等关键检测设备的全流程智能代操——在显著提升设备运行效率的同时，把工程师从高频、重复的现场操作中解放出来，为 12 寸先进制程 FAB 的“无人化”提供了可复制的范本。
Review SEM 缺陷复查，一键闭环 针对晶圆图形复杂、缺陷类型多样、设备对准能力有限易致流程中断的痛点，哥瑞利 LOFA以自研 RPA 代操+AI技术，将 GA 智能对准（Scribe Line 特征识别、自动沿切割道重对准）、缺陷自动定位（复测坐标解析与 SEM 视野精准移动）、Auto EDX 智能分析（多 Recipe 成分自动采集与处理）串成一条无人闭环，大幅降低因对准异常与重复操作导致的工程师介入频次。
CD SEM 特征定位算法，突破先进制程量测瓶颈 面向先进节点对 CD 量测数据完整性的严苛要求，LOFA 将 RPA 自动化与 AI 视觉深度融合，实现 Recipe 调用、机台校准、量测异常处理、数据确认的全链路自动运行。其核心突破在于抛弃传统图片匹配、改用自研“基于特征值的中心定位算法”：通过提炼晶圆图形的关键结构特征，规避图形变化与噪声干扰，定位成功率较传统方案提升约 90%。目前该方案在头部客户稳定运行准确率 95%+，成为 LOFA 面向 12 寸先进 FAB 的核心产品之一。
✦ Nikon OM 智能化改造 从Manual“光学显微”跃迁为Full Auto“AI 智能分析型检测”——本次升级的重头戏 传统光学显微检测在宏观缺陷环节长期受制于三大瓶颈：检测效率受限、多角度信息不足、缺陷定位高度依赖工程师经验。哥瑞利研发团队对 Nikon OM 开展硬件与算法的协同重构，让这台“看得见”的设备真正做到“看得懂、判得准、传得走”。
自动化升级高速线扫成像硬件解决方案 自研高速线扫成像模块，在不额外占用检测时间的前提下，同步输出多角度宏观图像、晶圆完整表面信息与丰富的缺陷纹理特征——一次扫描，既守住产能（WPH），又把宏观缺陷细节一网打尽，为后续 AI 判定提供高质量、多维度的数据底座。
智能化赋能 · LOFA四大自研AI引擎 Golden Image 智能比对 + AI 自动缺陷分类（ADC）：缺陷快速发现、精准定位、自动归类，综合分类准确率超 95%+，把“人眼扫图”升级为“算法读图”。 照片超分辨率算法：针对偶发的照片模糊，自研超分重建有效还原细节，杜绝因成像质量波动导致的误判与漏判。 Smart Sampling 智能采样：以自适应采样策略化解“缺陷摸底充分性”与“产能（WPH）”之间的长期矛盾，让抽检既全面又高效。 快速人工复判 + 自动上传 DN：在全自动流程中保留一键人工介入通道，兼顾效率与可控；并打通自动上传 DN 这一智能化链条中最难啃的“最后一公里”，实现从检测、判定到数据回传的真正端到端闭环。
一句话价值：软硬协同之下，Nikon OM 从单纯的Manual “光学显微”设备，跃迁为Full Auto具备自动成像、智能判定、数据自动回传能力的“LOFA AI 智能分析型检测”平台，成为 OM 宏观检测无人化的标杆。
构建新一代 FAB 智能制造体系 此次项目的成功落地，是哥瑞利 LOFA 在 12 寸前道智慧生产领域的又一里程碑。通过 RPA 智能设备代操、AI 视觉算法与设备智能化改造三线并进，LOFA 正帮助晶圆制造企业构建“设备自动化 + 数据智能化 + 工程无人化”的新一代 FAB 制造体系。
未来，哥瑞利将持续围绕半导体制造核心场景，深化AI应用与自动化技术融合，为全球晶圆制造企业提供更加高效、智能、可靠的智能制造解决方案。
